
| Passo da grade | 20 µm |
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| Expansão Térmica | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Resolução | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repetibilidade | Incremento de ±1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Velocidade máxima (m/min) | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tipo de saída | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Aceleração máxima | 20 m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Proteção | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fonte de energia | 60 mA máx. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deslocamento de fase | 90°±5°elétrico | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de operação | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de armazenamento | -20°C a 80°C | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Umidade | 100% não condensado |